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• 快速高溫退火設(shè)備
  • 快速高低溫退火設(shè)備RTA（離子注入后活化激活）
• 背面處理設(shè)備
  • 全自動(dòng)晶片減薄設(shè)備SGM-9100
• 鍵合設(shè)備
  • 高還原性低溫?zé)釅烘I合設(shè)備 FATB
  • 高還原性低溫?zé)釅簩?duì)準(zhǔn)鍵合設(shè)備 MAFP
  • C2W低溫?zé)釅烘I合設(shè)備 SAFP
• 量測(cè)設(shè)備
  • 晶片邊緣輪廓儀
• 配件及耗材
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  • 拋光布及拋光墊
  • 研磨盤及拋光盤